шаблон со слоем хрома для электронно-лучевой литографии

chromuota elektronpluoštės litografijos kaukė statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. e-chrome mask; electron-beam chrome mask vok. Chromschablone für Elektronenstrahllithografie, f rus. шаблон со слоем хрома для электронно-лучевой литографии, m pranc. masque chromé pour lithographie électronique, m